Раббимов, Е., & Саиткулова, Р. (2025). Образование наноразмерной пленки Si/Cu при имплантации на поверхность пленки ионов O2+. Современные проблемы интеллектуальных систем, 1(1), 198-201. https://inconference.uz/index.php/cpis/article/view/58