РАББИМОВ, Е; САИТКУЛОВА, Р. Образование наноразмерной пленки Si/Cu при имплантации на поверхность пленки ионов O2+. Современные проблемы интеллектуальных систем, [S. l.], v. 1, n. 1, p. 198–201, 2025. Disponível em: https://inconference.uz/index.php/cpis/article/view/58. Acesso em: 16 sep. 2025.