Е. Раббимов and Р. Саиткулова, “Образование наноразмерной пленки Si/Cu при имплантации на поверхность пленки ионов O2+”, СПИС, vol. 1, no. 1, pp. 198–201, Aug. 2025, Accessed: Sep. 16, 2025. [Online]. Available: https://inconference.uz/index.php/cpis/article/view/58